Unipulse Corporation 의 초정밀 Gap측정 센서는 변위 진동 측정 센서는 유수의 반도체, FPD, 공작기계, 정밀기기 등 다양한 분야에
납품되어 사용되고 있습니다.
-
정전용량방식 초정밀 변위 측정 센서: 1채널형, 멀티 채널형 <- 세계 유명 메이커의 Lithograph장치에 다량으로 OEM 납품되는 센서입니다.
-
열변위 측정 장치
-
광파이버 방식 초정정밀 변위 진동 측정 기기: 차동형 변위 측정기, 1채널형 진동 변위 측정기
정전용량방식 초정밀 변위 측정 장치
응용 사례

특징
■ 표준 측정 범위 30μm ~ 1000μm의 폭 넓은 라인업
■ 도체이면 재질에 따라 감도가 변하지 않음
■ 표면 거칠기의 영향을받지 않음
■ 높은 선형성 : ± 0.05 % 이하
■ 저잡음 : 0.002 % / FS (rms) 이하
■ 진공환경용 대응 가능
PS-1A - 1채널형

기본 사양:
■ 원터치로 출력을 제로 리셋 기능, NEAR / FAR LED 표시기 멀티 채널 작동 기능이,
PS-1A 한 대로 다양한 용도로 응용이 가능합니다.
■ 모델PS-IA 기본 출력 전압 범위0 ~ 10V
■ 출력 단자BNC 커넥터
■주파수 특성DC ~ 1kHz, 5kHz (모델 PS-ⅠA-HS)
■사용 온도 범위10 ~ 40 ℃
■전원DC24V, 0.2A 또는 AC220V (AC 어댑터 사용)
■외형 치수110W × 30H × 162Dmm 무게355g (본체 만)

-
Sample demo측정 가능하오니 부담없이 문의해 주십시오.
멀티 채널 PS-III series
PS-Ⅲ 시리즈는 멀티 채널형입니다.
다양한 기능을 담은 PS 센서 시리즈의 결정판입니다.
연구 개발 용도뿐만 아니라 시스템에 임베디드 할 수 있습니다.


열변위 측정 장치

JIS B 6193:2003에 따른 열 변위 측정 시스템 DT-10는 정전 용량 방식 비접촉 변위계 PS 센서와 온도 센서를 이용하여 공작 장비의 주축과 테이블 또는 공구와 공작물 위치 사이의 열 변위를 연속적으로 측정 평가하는 것이 가능합니다.
■ JIS B 6193:2003에 따른 시스템
■ 환경 온도 변동 오차 (ETVE) 시험 주축의 회전에 의한
열 변형 측정 가능
■ 장시간의 시험을 비접촉으로 안정적으로 측정 가능한
정전 용량 식 변위계를 사용
■ 와류 식 변위계에 의한 시스템 대응도 가능
■ 용도에 따라 측정 채널 수 변경 가능

