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사용목적과 용도, 기본사양(aligner의 크기제한, 형상, 제어축수,  load,  stroke, 회전각도, 응답주파수,
interface방식, 진공조건, 기타 설치 조건)을 말씀해 주시면  시스템을 THK PRECISION이 설계 제안하여 드립니다. 
부담없이 문의해 주십시오.    

  • 고객 주문형 초정밀 위치 결정용 스테이지를 제안 설계 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까 ?

  • 광학부품 뿐만이 아니라, 기구물을 초정밀 제어하기 위한 alignment unit를 설계할 수 있는 곳을 찾고 계십니까 ?

  • 시험 장치 제안 설계 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까? 

      「 Piezo  (fine) + 모터 스테이지 (coarse) + force sensor + 광학변위센서 + 광학관찰장치 + 제어 software 」

  • 저희 (주)주원 응용기기기부로 연락을 주시기 바랍니다.  THK PRECISION과 함께 정성을 다해 대응하겠습니다.

  • ​스테이지가 설치될 공간크기와 위치와 형상에 맞추어 상담 제안 합니다.

  • 제어 대상물의 중량, 대상물의 크기, actuator type, stroke, 회전각도, resolution, controller의 설치 거리, 진공도를 고려한 상담이 가능합니다.

  • 국내 고객과의 상담 협의를 통하여, 고객 주문형으로  THK PRECISION이 국내에  대응했던 사례들을 
    아래에  소개해 드립니다.

  • Focusing용 Z축 피에조 스테이지 :  일체형 구조물 (경통+렌즈+카메라)를 피에조 스테이지 + 다이아 프레임 보조 기구로 상하로 지지햐여 Z축으로 안정되게 포커싱

  • 3점  balance  조정용으로써 Z축 피에조 스테이지 납품
    ​(30kg  하중)

  • ​FPD 관련 잉크 젯 프린터용  기구물을 align하기 위한 용도로써,
      Piezo actuator를 적용한 소형 스테이지 설계로 대응 (멀티 채널 제어형)  납품

​대상 기구물의 크기와 무게와 제어 방향에  따라서 설계 제안 대응.

  • ​하중 cancel 구조를 적용하여 고하중 대상물을 정밀 제어용,  대형 스테이지 납품 (멀티 채널 제어형)

 하중 3kg Z축 제어를 위해서,

하중cancel 구조 + 피에조 스테이지 

theta x,y 2축 제어 (하중20kg)

  • ​CCD 픽셀 시프트용 XY 피에조 스테이지  설계 제작 납품

  • VCM actuator + Flexure guide 를 적용한 XY tilt 스테이지​,  투과홀이 있는 형태의 스테이지 납품 

  • ​고강성 Piezo stage를 설계하여 FTS (Fast Tool Servo)로써  납품 : 
          초정밀 가공부품을 위한  바이트 구동 절삭 기구로써 사용

  • ​3축 align system :  (X + Y + theta Z) & piezo clampping  납품 

​광학 부품을 조정한 후에 piezo actuator로써 clampping

  • ​박막 인장, 절삭강도 시험 장치 납품 (고객 주문형 사양 : Piezo stage + 고감도 force sensor + 광학관찰 장치 + Stepping motor + 제어software )
     

  • Mask와 Wafer와의 자동 평행 조정장치 납품 (고객 주문형 사양 : Piezo stage + 고감도 force sensor + Stepping motor + 제어software )​
     

  • 초고진공 챔버에서의 Mirror 위치 조정용 2축 소형 피에조 스테이지  납품 (고객 주문형 사양)​
     

  • ​고하중 3점 tilt Balance용 Z + tilt 피에조 스테이지 설계

  • XY θz 피에조 스테이지 

하중 15kg

Stroke : XY 170um    
           theta Z 750arcsec

  • Mask검사용 고중량 렌즈 포커싱 피에조 스테이지

렌즈 700g, 고속 포커싱용

  • Revolver (2.5kg)용  Z축 피에조 스테이지 (stroke: 80㎛) , 고강성 type 설계 

고강성 사양으로 설계

  • ​XY축 틸트 + Z축 피에조 스테이지

레이저 반사용 Mirror를 장착하여 사용

소형 mirror 장착형

  • ​Fine and Coarse 제어용 스테이지 구성 설계

렌즈 focusing을 위한, Z축,

stepping + 피에조 스테이지 

  • ​Microstructure aligment system
     (주문설계형 piezo stage + stepping motor stage + manual stage + 광학 관찰 장치)

​고객과의 협의를 통하여 시험장치를 설계 제작 제안드립니다.

 

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