• 사용목적과 용도, 기본사양(제어축수 load, 응답주파수, stroke, 회전각도, interface방식, 설치 조건)을 말씀해
    주시면  시스템을 THK PRECISION이 설계 제안하여 드립니다.  부담없이 문의해 주십시오.    

  • ​대물렌즈의 Focusing용 피에조 스테이지를 고객 주문형으로 설계제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까? 

  • 피에조 actuator를 적용하여, 사용 목적에 맞춘 고객 주문형 스테이지를 설계 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까?

  • 진공 챔버내에서의 좁은 공간에서 다양한 광학부품을 다축으로 미세 조정할 수 있는 aligner를 실계 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까?

  • 고중량물을 Theta 제어, 틸트 제어, XYZ 제어, 다축 제어를 할 수 있는 alignment system을 설계 제작할 수 있는 곳을 찾고 계십니까?

  • ​저희 (주)주원 응용기기기부로 연락을 주시기 바랍니다.  THK PRECISION과 함께 정성을 다해 대응하겠습니다.

 

  • 국내 고객과의 상담 협의를 통하여, 고객 주문형으로  THK PRECISION이 국내에  대응했던 사례들을 아래에  소개개 합니다.

  • Focusing용 피에조 스테이지 :  (경통+렌즈+카메라)를 일체형으로 Z축 이동 구조로  납품

  • 3점  balance  조정용으로써 Z축 피에조 스테이지 납품
    ​(30kg  하중)

  • ​FPD 관련 잉크 젯 프린터용  기구물을 align하기 위한 용도로써,
      Piezo actuator를 적용한 소형 스테이지 설계로 대응 (멀티 채널 제어형)  납품

​대상 기구물의 크기와 무게와 제어 방향에  따라서 설계 제안 대응.

  • ​하중 cancel 구조를 적용하여 고하중 대상물을 정밀 제어용 대형 스테이지 납품 (멀티 채널 제어형)

  • ​CCD카메라 픽셀 시프트용 XY 피에조 스테이지 납품

  • VCM actuator를 적용한 XY tilt 스테이지​,  투과홀이 있는 형태의 스테이지 납품 

  • ​고강성 Piezo stage를 설계하여 FTS (Fast Tool Servo)로써  납품 : 
          초정밀 가공부품을 위한  바이트 구동 절삭 기구로써 사용

  • ​3축 align system :  (X + Y + theta Z) & piezo clampping  납품 

​광학 부품을 조정한 후에 piezo actuator로써 clampping

  • ​박막 인장, 전단강도 시험 장치 납품 (고객 주문형 사양)
     

  • Mask와 Wafer와의 자동 평행 조정장치 납품 (고객 주문형 사양)​
     

  • 초고진공 챔버에서의 Mirror 위치 조정용 2축 소형 피에조 스테이지  납품 (고객 주문형 사양)​
     

  • Mask검사용 고중량 렌즈 포커싱 피에조 스테이지

렌즈 700g, 고속 포커싱용

theta 2축 제어 (하중30kg)

  • Revolver (2.5kg)용  Z축 피에조 스테이지 (stroke: 80㎛) 설계 

고강성 사양으로 설계

  • ​XY축 틸트 + Z축 피에조 스테이지

레이저 반사용 Mirror를 구동 목적

  • ​회전 피에조 스테이지

​광 shift용 2축 틸트 스테이지 (long stroke용)

  • ​Fine and Coarse 제어용 스테이지 구성 설계

Z축 제어를 위해서,

하중cancel 구조 + stepping + 피에조 스테이지 

렌즈 focusing을 위한, Z축,

stepping + 피에조 스테이지 

  • ​Stepping motor 스테이지
      (Linear scale 장착, 위치피드백, 
    theta XY틸트 + Z 축 일체형)

  • ​Microstructure aligment system
     (piezo stage + stepping motor stage + manual stage + CCD camera

 

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