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투과형 위상 시프트 레이저 현미 간섭 측정 장치

 

FK Opt의 파면 분할 간섭계를 사용한 내진동성이 뛰어난 탁상형 간섭 계측 장치입니다.

빔 분할 바이 프리즘을 사용하고 이를 미세이동하는 새로운 유형의 위상 시프트 법을 병용함으로써 기존의 위상차 현미경 미분 간섭 현미경으로는 관찰 할 수 없었던 서브 마이크론 영역에서의 미약하고 희미한 위상 변화를 고정도로 정량 측정 할 수 있습니다.

 

용도

  • 광 디바이스의 연구 개발 및 제조 분야:

              광 스위치 소자, 광 도파로, 광섬유 등의 굴절률, 복굴절(옵션) 분포의 관찰 · 정량 측정에 의한 구조 평가.

  • 생명 공학 분야: 비 염색 생체 관련 시료의 미세 구조 관찰 정량 측정.

 

특징

Laser간섭법을 응용해서 샘플의 굴절률, 샘플의 높이를 비접촉으로 계측합니다.  

 

  • 高速.......... 수초의 계측시간

  • 高精度.... 位相差計測精度 ±(1/150)λ    

                 屈折率差計測精度...±0.0001

                 높이計測精度   ........±0.2μm

  • 空間分解能........광학현미경과 동등

투과위상 시프트 레이저 현미 간섭 측정장치 - (주)주원 응용기기부

 - 단일 파장형 장비일 경우, 파장 455, 532, 635nm의 세 파장중에서

    한 개의 파장을 선택.  파장 405nm는 특주.

 

 - 고객의 요청에 의해 두 개, 세 개의 파장을 선택하는 경우도 있습니다만, 

    이때는 단일 파장을 선택한 경우보다 정도는 낮아 집니다

 간섭보정을 한 경우의 精度 ⇒ 단파장에서는 λ/500 以上, λ/4000의 실적

    이 있습니다.

 복수 파장의 경우의 精度 ⇒ λ/100 以上,  λ/1000 실적이 있습니다.    

 

 

PLM-OPT 표준사양

대물렌즈                4배/10배/20배(변경가능) remote 전환방식

종합배율                40배/100배/200배

육안관찰                10배 접안렌즈 LED조명

Laser광원              He-Ne레이저 λ=632.8nm (변경가능) 1mW

크기・무게              본체・약W400mmxD550mmxH1100mm, 약50kg

                                제어부・약W430mmxD440mmxH140mm, 약30kg.             

해석 software       위상분포화상, 주요위상분포화상, 강도분포화상, 굴절률 분포표시, 두께분포표시, 위상・굴절률・두께의 3차원표시, 
                                위상・굴절률・두께의 profile표시, 등고선표시

 

굴절률 측정 샘플 데이터

굴절률 측정 장치 - (주)주원 응용기기부

振幅像 (보통의 현미경 이미지)

50µm GI fiber 굴절률분포측정결과

위상상

PANDA fiber 굴절률분포측정결과

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