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로고 THK PRECISION.jpg

피에조 모터 스테이지

몇 mm~수십 mm의 스트로크를 20~40nm의 높은 분해능으로 위치 결정 제어할 수 있는 고정 밀도 스테이지입니다.

액추에이터에 PiezoMotor사의 PiezoLEGS 액튜에이터를 채용한 스테이지입니다.

액추에이터 추력이 6N형과 20N타입이 있고 정지 상태에서도 추력과 거의 같은 유지력을 유지하고 정지시의 안정성, 외란에 대한 높은 위치 정도를 유지합니다.

본체 재질로서 알루미늄제 모델과 SUS제 모델이 있습니다.

Applications

  • 광학계의 조정도 위치 결정

  • 레이저 얼라이먼트

  • 정밀 맵핑 측정

  • X선 / 분석 측정기기

  • 현미경용 시료 스테이지

  • 위치 조정후에 전원을 OFF한 후의 위치 유지가 필요한 용도에

특징

  • 슬림 소형 사이즈

  • 자기 발열이 적음

  • 진공 환경 대응, 비자성 대응

  • 리니어 엔코더 내장하여 높은 위치 재현성을 제공

LS1L46 / LS1L60

X축 stage

​X축 스테이지

LS1L90

X축 stage

​X축 피에조 모터 스테이지

LS1L120

X축 stage

LS1L180

XY축 stage (투과 홀 타입)

Controller for Piezo moto stage

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