피에조 모터 스테이지

 

수십mm의 이동량을 20nm의 높은 분해능으로 위치 결정할 수 있는 모터 스테이지입니다.

정지 유지력(Holding force)이 있는 actuator를 사용하므로 전원을 off해도 위치가 유지됩니다.

진공, 비자성환경 재질의 스테이지 사양에도 대응합니다.

피에조 모터 스테이지 - (주)주원

특징

  • Compact 

  • 저소모전력

  • 높은 추력

  • 전원을 Off해도 현재의 포지션을 유지!!

Applications

  • 광학계의 조정도 위치 결정

  • 레이저 얼라이먼트

  • 정밀 맵핑 측정

  • X선 / 분석 측정기기

  • 현미경용 시료 스테이지

  • 위치 조정후에 전원을 OFF한 후의 위치 유지가 필요한 용도에도 적당합니다.

Piezo motor Actuator 동작원리

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X축 피에조 모터 스테이지-(주)주원

Piezo motor  X축 스테이지

Gonio 피에조 모터 스테이지 - (주)주원
XY축 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor  XY축 스테이지

Rotation 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor 회전 스테이지

Piezo motor 고니오 스테이지

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Z축 피에조 모터 스테이지 - (주)주원

Piezo motor Z축 스테이지

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Piezo motor용 controller

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