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로고 THK PRECISION.jpg

초음파 모터 피에조 스테이지

수십 mm의 이동 범위를 20nm또는 40nm의 높은 분해능으로 위치 제어할 수 있는 고정 밀도 스테이지입니다.

초음파 액추에이터SPPA(Super Precision Piezo Actuator)를 채용해, 저발열 및 마찰 보유에 의한 높은 정지 안정성을 갖추고 있습니다.

또, 진공 환경 대응이나 비자성 대응도 가능합니다.

     Applications

       ▶ 광학계의 조정도 위치 결정

       ▶ 레이저 얼라인먼트

       ▶정밀 맵핑 측정

       ▶ X선 / 분석 측정기기

       ▶현미경 시료 스테이지

       ▶ 위치 조정후에 정지 유지가 필요한 용도에

     특징

       ▶ Coarse, Fine 일체 actuator채용

       ▶ 자기 발열이 적음

       ▶마찰 유지에 의한 정지 시의 안정성이 높음 

       ▶ 리니어 엔코더를 내장하여 높은 위치 재현성을 제공

     

TS1L80 / TS1L120

X축 stage

TS2L180 /

Xy축 stage (투과 홀 타입)

Nano Control - 초음파 피에조 모터 XY 스테이지 - (주)주원 응용기기부

TS1R150 

Rotary stage

Nano Control - 초음파 피에조 모터 회전 스테이지 - (주)주원 응용기기부

Controller for Ultrasonic Motor Stage

샘플 소프트웨어

RS232C통신용 샘플 프로그램을 무상 제공합니다.
샘플 소프트를 사용하여 PC와 접속해 곧바로, 원점 복귀나 지정 위치 이동, 현재치 표시등의 기본 동작을 실시할 수 있습니다.

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