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정밀 모터 스테이지

 

수십mm의 이동량을 20nm의 높은 분해능으로 위치 결정할 수 있는 모터 스테이지입니다.

정지 유지력(Holding force)이 있는 actuator를 사용하므로 전원을 off해도 위치가 유지됩니다.

진공, 비자성환경 재질의 스테이지 사양에도 대응합니다.

용도:

  • 광학계의 고정도 위치결정

  • X선 / 분석 · 측정 기기

  • 점밀 매핑 측정 

  • 현미경 시료 테이블

  • ​전원off후에도 위치 유지가 요구되는 alignment system

Nano Control - 정밀 모터 스테이지 - (주)주원 응용기기부

피에조 모터 스테이지 

  • Compact 

  • 저소모전력

  • 높은 추력

  • 전원을 Off해도 현재의 포지션을 유지!!

Nano Control - 피에조 모터 스테이지 - (주)주원 응용기기부
Nano Control - 초음파 피에조 XY 모터 스테이지 - (주)주원 응용기기부
Nano Control _ 초음파 피에조 모터 회전 스테이이지 - (주)주원 응용기기부

 

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